Системи сепарації плазми
Криволінійний сепаратор плазми. ККД по струму: 8 ... 35%. | Сепаратор з перетворенням зустрічних потоків в радіальні. КПД по струму до 96%. |
прямолінійний сепаратор плазми. ККД по струму 10 ... 15%. |
Прямолінійний магнітоелектричний фільтр
блок схема установки, ККД по струму до 50%
Криволінійний L-подібний магнітоелектричний фільтр
Блок схема установки | Покриття без сепарації | Джерело плазми з кріволініймим сепаратором | Покриття, отримане із звстосуванням сепаратора |
Вакуумно-дугове джерело плазми з T-подібним магнітним фільтром, що має два активних плеча
Розріз джерела сепарований плазми з Т-подібним фільтром | Схематичне зображення джерела плазми з Т-подібним магнітним фільтром |
Радіальний розподіл концентрації компонентів і товщини покриття
Радіальний розподіл швидкості осадження TiAlN покриття на різному віддаленні від виходу плазмовода
Радіальний розподіл концентрації алюмінію в TiAlN покриттях різного складу | Радіальний розподіл швидкості осадження TiAlN покриттів різного складу |
Macroparticle tracer - програма для розрахунку траєкторій руху макрочасток в фільтруючих системах вакуумно-дугової плазми
синя лінія - траєкторії макро частин, поглинених стінками фільтра;
Т-подібний фільтр:
зелена лінія - реберна система з мінімальною складністю;
червона лінія - з максимальним ступенем очистки плазми.
Кількість макрочасток на виході фільтра зменшено в ~ 65 разів.
Реберна система для T-образного магнітного фільтра
Залежність кількості макро частин на виході фільтра від кількості їх зіткнень.
Синя лінія - класичний тороїдальний фільтр,
червона лінія - Т-подібний фільтр (реберна система з максимальним ступенем очищення плазми).