Системы сепарации плазмы
 |
 |
 |
| Криволинейный сепаратор плазмы. КПД по току: 8...35%. | Сепаратор с преобразованием встречных потоков в радиальные. КПД по току до 96%. |
Прямолинейный сепаратор плазмы. КПД по току 10...15%. |
Прямолинейный магнитоэлектрический фильтр
блок схема установки, КПД по току до 50%
Криволинейный L-образный магнитоэлектрический фильтр
 |
 |
 |
 |
| Блок схема установки | Покрытия без сепарации | Источник плазми с криволинейным сепаратором | Покрытия, полученное с использованием сепаратора |
Вакуумно-дуговой источник плазмы с T-образным магнитным фильтром, имеющий два активных плеча
 |
 |
| Разрез источника сепарированной плазмы с Т-образным фильтром | Схематическое изображение источника плазмы с Т-образным магнитным фильтром |
Радиальное распределение концентрации компонентов и толщины покрытия
Радиальное распределение скорости осаждения TiAlN покрытие на разном удалении от выхода плазмовода
 |
 |
| Радиальные распределения концентрации алюминия в TiAlN покрытиях разного состава | Радиальные распределения скорости осаждения TiAlN покрытий разного состава |
Macroparticle tracer - программа для расчёта траекторий движения макрочастиц в фильтрующих системах вакуумно-дуговой плазмы
Синяя линия - траектории макрочастиц, поглощённых стенками фильтра;
Т-образный фильтр:
зелёная линия - рёберная система с минимальной сложностью конструкции;
красная - с максимальной степенью отчистки плазмы.
Количество макрочастиц на выходе фильтра уменьшено в ~ 65 раз.
Рёберная система для T-oбразного магнитного фильтра
Зависимость количества макрочастиц на выходе фильтра от количества их столкновений.
Синяя линия – классический тороидальный фильтр,
красные линии – Т-образный фильтр (рёберная система с максимальной степенью очистки плазмы).
