Оборудование и технологии для реализации вакуумно-дугового метода
разработанное с участием сотрудников отдела «Ионно-плазменной обработки материалов»
Булат-10
| Рабочая зона в установке: диаметр X высота(мм) |
700х540 |
| Общее количество испарителей (шт.) работающих одновременно |
9 9 |
| Скорость осаждения покрытия (мкм/час) на неподвижный объект |
от 15 до 150 |
| Назначение(тип) осаждаемых покрытий | износостойкие, коррозионностойкие, защитно-декоративные, бактерицидные, оптические. |
| Тип управления | автоматическое |
Булат-9
| Рабочая зона в установке: диаметр X высота(мм) |
600x600 |
| Общее количество испарителей (шт.) работающих одновременно |
4 3 |
| Скорость осаждения покрытия (мкм/час) на неподвижный объект на вращающийся |
40 30 |
| Назначение(тип) осаждаемых покрытий | износостойкие, коррозионностойкие, защитно-декоративные. |
| Тип управления | автоматическое |
Булат-МС
| Рабочая зона в установке: ширина x глубина х высота(мм) |
400x400х100 0 |
| Общее количество испарителей (шт.) работающих одновременно |
4 2 |
| Скорость осаждения покрытия (мкм/час) на неподвижный объект на вращающийся |
100 30 |
| Назначение(тип) осаждаемых покрытий | Многослойные, самонесущие, толщиной до 2 мм. |
| Тип управления | ручное |
Булат-П
| Рабочая зона в установке: диаметр X высота(мм) |
500x500 |
| Общее количество испарителей (шт.) работающих одновременно |
2 2 |
| Скорость осаждения покрытия (мкм/час) на неподвижный объект на вращающийся |
5 4 |
| Производительность (шт./смену) | 4 |
| Макс. потребление мощности(кВт) | 20 |
| Расход воды(л/час) | 1200 |
| Назначение(тип) осаждаемых покрытий | Защитные, износостойкие, нитридные, оксидные, карбидные(на прецизионные изделия). |
| Тип упраления | ручное |
ТПН-5
| ТПН-4 | ТПН-5 | Б-АПП | Булат-10 | |
| Рабочая зона в установке: диаметр х высота(мм) | 700х850 | 850х850 | 500х500 | 700х540 |
| Общее количество испарителей (шт.) работающих одновременно |
4 2 |
6 3 |
2 1 |
9 9 |
| Скорость осаждения покрытия(мкм/час) на неподвижный объект на вращающийся объект |
до 30 до 10 |
до 25 до 8 |
до 5 до 1,5 |
от 15 до 150 |
| Назначение(тип)осаждаемых покрытий | Защитно-декоративные | Защитно-декоративные | Износостойкие, защитные, антифрикционные из алмазоподобного углерода |
Износостойкие, коррозионностойкие, защитно-декоративные, бактерицидные, оптические. |
| Тип управления | ручное | ручное | ручное | автоматическое |
Установка для синтеза алмазныз плёнок
| Активация газовой фазы осуществляется с помощью тлеющего разряда постоянного тока в скрещенных Е/Н полях; | |
| Мощность источника питания | до 17 кВт; |
| Напряжение на разрядном промежутке | до 7 кВт; |
| Ток разряда | до 10 А; |
| Напряжённость магнитного поля в области подложки | ~250Э.; |
| Скорость осаждения | до 10...12 мкм/час; |
| Площадь осаждения алмазного поликристаллического покрытия | до 25 см2; |
| T°осаждения | >900° C. |
Установка c L-образным фильтром
| Напряжённость магнитного поля | 350Э |
| Ионный ток на выходе фильтра до: | 2 А |
| Высокое качество фильтрации плазмы: | |
| Эффективная область однородности покрытия: | 10% |
| На диаметре(без вращения подложки) | 60-70 мм |
Приборы для диагностики
Рентгено-флуорисцентный анализ массового состава. Прибор «СПРУТ»
| Комплекс прибора «СПРУТ» состоит из: | |
| Блока спектрометра: | 6 3 |
| Блока управления регистрации спектра газового поста; | |
| Форвакуумного поста (блок управления насосом и форвакуумного насоса); | |
| Источника бесперебойного питания: | 1500 |
| Внешнего компьютера | до 1.7 кВ |
Наноидентирование (Nanoindenter G200)
| Разрешающая способность перемещений, менее: | 0.1 нм |
| Полное перемещение индентора: | 1.5 мм |
| Макс. глубина индентирования, более: | 500 мкм |
| Макс. нагрузка: | 500 мН |
| Макс. потребление мощности: | 35 кВт |
| Мин. глубина отпечатка, достаточная для нахождения твёрдости и модуля упругости: | ~30 нм |
| Оптический микроскоп | |
| Экранное(цифровое увеличение): | 25х |
| Оптическое увеличение, 2 сменных объекта: | 10х и 40х |
Измерение коррозионных характеристик (потенциостат IPC Pro MF)
| Входное напряжение: | 30 В |
| Диапазоны тока: | 7, 1мкА, 10мкА, 100мкА, 1мА, 10мА, 100мА, 1А |
| Диапазон регулируемых потенциалов: | 5 В |
| Скорость развёртки: | от 0 до 100 В/с |
| Макс. скорость регистрации IET: | 10 мс/триаду |
| IR компенсация: | Активная по разрыву цепи. |
| Аналог. выходы: | есть |
| Внеш. задатчик: | есть |
| Дополнительные опции: | Встроенная память до 16000 точек. |
| Питание: | Сеть ~220В. |
