Методи дослідження:
- Вторинна іонна мас-спектрометрія і мас-спектрометрія газових іонів;
- Ядерно-фізичні методи;
- Електронна мікроскопія;
- Методи адсорбції;
- Нейтронна спектроскопія;
- Електрофізичні методи;
- Наноіндентування
Метод отримання нанокришталевих структур
Іонно-стимульоване осадження (IBAD method). В даній технології метали випарюються шляхом електронно-променевого нагріву, а осаджувана плівка бомбардується пучком газових іонів з енергією кілька десятків кеВ. Даний метод у нас реалізований в двох конфігураціях: з горизонтальним розміщенням джерел газових іонів і в конструкціях, коли джерело іонів розташовується на одному фланці з електронно-променевим випарниками, вертикальне розміщення).
Переваги методу іонно-стимульованого осадження:
- Висока ступінь неврівноваженості процесу дозволяє наносити нанокришталеві покриття;
- Підвищена температура не є обов’язковим параметром процесу осадження, що дає можливість формувати дрібно зернисту структуру плівок, як щільно упаковану, так і таку, що має мікро поруватість; застосування джерела іонів і джерела пару, які використовуються незалежно один від одного, роблять цю технологію керованою, відтворюваною та гнучкою;
- Можливість осадження плівок із будь-яких металів і сплавів;
- Можливість отримувати багатокомпоненті структури;
- Можливість змінювати стехіометрію і структуру на стадії росту покриття.
Іонно-стимульоване осадження
Переваги методу:
- Висока ступінь неврівноваженості процесу.
- Незалежне регулювання щільності іонного пучка і швидкості осадження металу.
- Можливість отримувати багато компонентні структури.
- Можливість змінювати стехіометрію і структуру на стадії росту покриття.
