Методики лабораторії фізики взаємодії іонних пучків з матеріалами
Характеристики методик використовуваних для досліджень
| Ядерно-фізичні методики | Елементний склад, Z | Дозвіл по глибині, A | Аналізований шар, мкм | Межа виявлення, мас,% |
|---|---|---|---|---|
| Ядерні реакції (зворотне розсіювання) | ≥ 1 | 3000 | 1…10 | 10…10-5 |
| Ядерні реакції (зворотне розсіювання) | ≥ 1 | 50...300 | 0.5 | 10…10-5 |
| Ядерні реакції (розсіювання «вперед») | ≥ 1 | 50...300 | 0.5 | 10…10-5 |
| Каналування | ≥ 2 | 100 | 1…3 | 10-1..10-6 |
| Резерфордовского зворотне розсіювання | ≥ 2 | 100 | 1…3 | 10-1..10-6 |
| Термодесорбціонная мас-спектрометрія | Чутливість по парціальному тиску ~4*10-8 Па или 1010 атомів аналізованого газа |
