Методики лаборатории физики взаимодействия ионных пучков с материалами
Характеристики методик использовуемых для исследований
| Ядерно-физические методики | Элементный состав, Z | Разрешение по глубине, A | Анализируемый слой, мкм | Предел обнаружения, масс,% |
|---|---|---|---|---|
| Ядерные реакции (обратное рассеяние) | ≥ 1 | 3000 | 1…10 | 10…10-5 |
| Ядерные реакции (обратное рассеяние) | ≥ 1 | 50...300 | 0.5 | 10…10-5 |
| Ядерные реакции (рассеяние «вперед») | ≥ 1 | 50...300 | 0.5 | 10…10-5 |
| Каналирование | ≥ 2 | 100 | 1…3 | 10-1..10-6 |
| Резерфордовское обратное рассеяние | ≥ 2 | 100 | 1…3 | 10-1..10-6 |
| Термодесорбционная масс-спектрометрия | Чувствительность по парциальному давлению ~4*10-8 Па или 1010 атомов анализируемого газа |
